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适用于任何可能目标物的高分辨率测量
激光束穿过依靠音叉快速上下振动的物镜聚集在目标表面。从目标表面反射的光束汇集在小孔处,随后进入感光元件。通过测量光线进入感光元件时物镜的确切位置,就可以确定目标高度。传感器精确测量目标表面的距离,不受目标材质、颜色或角度的影响。
因同轴方式实现了高性能检测
LT-9000系列表面扫描激光共焦位移计可用于找寻引线接合器调整不精确或故障造成的焊接不足。其显示器屏幕可以显示放大 85倍的图像,因此可以轻松进行目标定位。它采用了世界创新性的高精度表面扫描方法,最小光点直径可达2μm,即使是细导线也能使用该方法实现可靠测量。
LT-9000 系列表面扫描激光共焦位移计可用于检查切割晶片的金刚石刀具表面状况,并控制金刚石层表面的粗糙度。测量分辨率为 0.3 µm,测量结果则可参照显示器屏幕上的轮廓波形得出。它采用了世界创新性的高精度表面扫描方法,可确保精确测量刀具表面的轮廓。
LT-9000 系列表面扫描激光共焦位移计可用于测量 IC 塑料模具上用于显示批号或日期等由激光刻印机刻印的字符深度。操作员可以观察显示器上放大85 倍的图像,并以 0.3µm的测量分辨率对目标进行测量。移动载物台使其能测量刻印的深度和宽度。测量分辨率为0.3µm,测量结果则可参照显示器屏幕上的轮廓波形得出。它采用了世界创新性的高精度表面扫描方法,可确保精确测量刀具表面的轮廓。
LT-9000 系列表面扫描激光共焦位移计可用于检查在晶片上形成图案的蚀刻的进度。以 0.3 µm 的分辨率获得的测量数据可在显示器屏幕上显示为轮廓波形。蚀刻深度或表面轮廓都可以轻松测量得出。它采用了世界创新性的高精度表面扫描方法,即便是镜面目标也能精确测量。
LT- 9000 系列表面扫描激光共焦位移计可用于精确测量易拉罐上用于刻出拉环的凹槽轮廓。即使是用于反射度高的目标,也可保持测量的稳定性。操作员可以观察显示器上放大 85 倍的图像,并以 0.3 µm 的测量分辨率对目标进行测量。移动载物台使其能测量刻痕的深度和宽度。测量分辨率为 0.3 µm,测量结果则可参照显示器屏幕上的轮廓波形得出。它采用了世界创新性的高精度表面扫描方法,可确保精确测量刀具表面的轮廓。
0.3 μm 的出色分辨率实现高精度应用
高精度测量方式使用共焦原理和音叉
共轴光学系统改善了测量性能
引线接合高度
金刚石刀具表面轮廓
测量塑料上的字符刻印深度
测量晶片蚀刻深度
测量拉片的刻痕深度