地址:北京市昌平区回龙观西大街115号龙冠大厦3楼
电话:010-51528178
项次 |
项目 |
具体参数 |
1 |
输出项目 |
相位差【nm】,轴方向【°】,相位差与应力换算(选配)【MPa】 |
2 |
测量波长 |
520nm |
3 |
双折射测量范围 |
0-130nm |
4 |
测量最小分辨率 |
0.001nm |
5 |
测量重复精度 |
<1nm(西格玛) |
6 |
视野尺寸 |
142x170um到3.5x4.2mm |
7 |
选配镜头视野 |
无 |
8 |
选配功能 |
实时解析软件,镜片解析软件,数据处理软件,实现外部控制 |
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