1.常规环境下纳⽶级分辨
2.扫描量程内任意范围、⻆度实现⾮线性矫正及标定，⾮线性度⼩于1%，正交
性误差⼩于1
3.采⽤⾼性能纳⽶级步进⻢达，全⾃动进针
4.成熟针尖保护技术，降低针尖磨损
5.采⽤DSP芯⽚可实现⾼速数字运算，⽀持多种应⽤场景下的数据处理和控制
需求
6.模块化机构设计，系统⾼度开放，⽀持用户⼆次开发和改良