- 操作简单,测量速度可以快到3秒;
- 视野范围内可一次测量,测量范围广;
- 更直观的全面读取数据,无遗漏数据点;
- 具有多种分析功能和测量结果的比较;
- 维护简单,不含旋转光学滤片的机构;
- 高达2056x2464像素的偏振相机。
应用领域:
- 小尺寸样品专用
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光学镜头
主要技术参数:
项次 | 项目 | 具体参数 |
1 | 输出项目 | 相位差【nm】,轴方向【°】,相位差与应力换算(选配)【MPa】 |
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2 | 测量波长 | 520nm |
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3 | 双折射测量范围 | 0-130nm |
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4 | 测量最小分辨率 | 0.001nm |
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5 | 测量重复精度 | <1nm(西格玛) |
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6 | 视野尺寸 | 17.5x21mm到33x40mm(标准) |
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7 | 选配镜头视野 | 6.3x7.5mm |
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8 | 选配功能 | 实时解析软件,镜片解析软件,数据处理软件,实现外部控制 |
测量案例: