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Trend Edge Stain工具通过与理想的参考模型进行比较,检测边缘位置的微小变化。可以输出单独的位置,以便在出现对准问题时发出指示,从而可以对机器进行预防性调整。
对于传统的边缘工具,只能检测较大的缺陷。XG系列Trend Edge Stain工具能够稳定地检测甚至最细微的瑕疵。