全反射X射线荧光光谱仪的工作原理(TXRF)
X射线荧光光谱分析法(XRF)的原理:原子受原级X射线激发后,发出次级X射线荧光。因此,XRF 分析法可以:
根据荧光的波长和能量,确定元素;
各元素的浓度可根据荧光的强度进行计算。
X射线由Mo靶或W靶产生,在Ni/C人工多层膜上反射并单色化。扁平的光束以非常小的角度(0.3 – 0.6 °)掠射装有样品的样品架,并产生全反射。样品所产生的特征荧光被能量色散探测器(XFlash® detector) 探测,强度通过偶合的多通道分析器测量。
与常规的XRF最大的不同,全反射荧光(TXRF)是使用了单色光和全反射光学部件。以全反射光束照射样品,降低了吸收、以及样品及衬底材料对光的散射。结果是大大降低了背景噪音,因此有高的多。