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SE-6
分析探针台
特点
同轴驱动CHUCK
可以升级做射频测试
20X~4000X 光学显微放大
无后座力移动
可以选择显微镜倾仰装置或者气动升降装置
规格
真空吸附型Chuck6" 不锈钢
Chuck X-Y轴行程6" x6"
Chuck 旋转角度0~30 度
Chuck升降4mm
针座平台可以放置12 针座
显微镜X-Y轴行程1" x1"
需求
电力110 VAC, 60Hz220 VAC, 60Hz
真空-250 mmHg, 7 liter/min
尺寸
920mm长 x 660mm宽 x 700mm高 (带显微镜)
重 180 Kg(带显微镜)
可选附件
激光切割
探针卡夹具
加热台
防震桌
显微镜气动升降装置
暗场 / Normarski 检测
带真空底座的活动Chuck
光强/波长测试接口部件
射频测试探头和线缆
有源探头
低电流/电容测试
高压测试
超声切割
视频系统
显微拍照系统
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