多功能平台聚焦扫描微区Ｘ射线光电子能谱仪

2006年12月一推出，立刻受到高校科研单位欢迎。

国内用户有   南京大学分析中心    上海师范大学   天津46所

3、仪器主机功能与附件功能
3.1 单色化XPS，Al Kα，包括：
大面积XPS、小面积XPS、成像XPS、深度剖析XPS和角分辨XPS。
3.2 双阳极XPS，Mg/Al Kα
3.3 紫外光电子能谱，UPS
3.4 高压反应室
3.5 分析室样品冷/热台
4、仪器主要部件
4.1 超高真空分析室
180度半球能量分析器，
电子透镜传输系统，
１６多通道电子检测器
分子泵，离子泵，钛升华泵
　　　单色化XPS （AlKα）系统，含内循环水冷却装置，
XPS成像系统，
双阳极XPS系统，冷却循环水和单色化系统共用
紫外光源，
荷电中和系统，用于绝缘样品或导电性差的样品的荷电补偿，
5轴样品台，
标准样品托　２个
Recessed样品托　1个
氩离子枪，用于深度剖析，
热双灯丝离子规，
闭路电视显微彩色摄像系统和SXI成像系统，
分析室和进样室都有独立光纤照明系统，
可观察视窗，视窗直径10cm左右,
样品热/冷台,温度可监测。
4.2 样品进样室
机械泵，分子泵 热双灯丝离子规,
可观察视窗，视窗直径10cm左右。
空气压缩机一台，国内采购
4.3 石英高压反应池
程序控温系统
真空监测系统
真空泵系统
进出气系统,参考南京大学用户设计建议。
压力 一个大气压
全石英底座
密封材料 Byton O-ring
最高温度 600度
远红外线加热控温系统
单独石英反应器冷却系统

4 样品磁耦合传输系统
4.5 真空烘烤系统
4.6 主机系统集成，减震装置。
4.7 计算机系统，含数据采集和数据处理软件包。
4.8 与以上所有系统相关联的电子学控制柜。

5、仪器主要技术参数与要求
5.1 仪器主机功能，单色化Al Kα
5.1.1 大面积XPS
Ag3d5/2，1400umx100um, FWHM≤1.00eV时，灵敏度≥1,000,000 cps。
Ag3d5/2，1400umx100um, FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥250,000 cps。
5.1.2 小面积XPS，最小分析面积≤10μm ，性能指标应达到：
Ag3d5/2，20μm， FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥15,000 cps。
Ag3d5/2，10μm， FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥4,000 cps。
Ag3d5/2，10μm， FWHM≤1.00eV时，灵敏度≥12,000 cps。
Typical value for 100um and 20um at 75degree and 45degree
75degree
Ag3d5/2，20μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 99kcps
Ag3d5/2，100μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 47kcps
45degree
Ag3d5/2，20μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 50kcps
Ag3d5/2，100μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥ 27kcps
5.1.3 成像XPS
单色化X射线扫描成像，最佳空间分辨率≤10 μm。
5.1.4 深度剖析XPS
聚焦扫描氩离子枪，当working distance为30 mm时.聚焦氩离子束斑≤150μm，当
working distance为60mm时候，聚焦氩离子束斑≤300μm束流密度≥0.5 mA/cm2。
5.2 仪器附件功能
5.2.1 双阳极XPS，MgKα，Ag3d5/2，FWHM≤1.40eV时，灵敏度≥1,000,000 cps。
5.2.2 紫外光电子能谱（UPS）
(a) 光源：He紫外光源，HeI:HeII=3:1
(b) 性能指标：分辨率（Ag费米边）≤120 meV时，灵敏度（Ag4d）≥2,000,000 cps。
(c) 最小步长：5meV
5.2.3 高压反应室
(a) 材质：石英
(b) 内胆内压强：≥760Torr
(c) 最高温度，≥600℃
(d) 气体混合仓附计量装置，包括压力表、流量计和针阀等。
5.2.4 分析室样品冷/热台，温度：170 K–600 K，温度可检测，加热PID控制。
5.3 仪器主要部件参数与要求：
5.3.1 能量分析器
(a) 类型：半球能量分析器
(b) XPS能量范围： 0–1600 eV（25 meV）
UPS ：0～320 eV（5 meV）
5.3.2 超高真空分析室
(a) SUS材质内表面经过特殊处理
(b) 真空：小于6.7×10-10 mbar
5.3.3 样品进样室
(a) 材质：非磁性不锈钢材料
(b) 真空：小于6.7×10-9 mba
5.3.4 深度剖析氩离子枪
100eV–5keV，连续可调，扫描型。
5.3.5 荷电中和系统：双枪中和系统。
5.3.6 样品控制台
(a) 轴向：5轴，
(b) 移动：各向移动距离必须与样品台尺寸相匹配，步进步长小于1μm，
(c) 倾斜：0–90°
5.3.7 计算机系统
(a) Pentium IV，CPU主频3.0GHz左右；
(b) 内存2G, 硬盘250 G；
(c) ２个DVD/CD-RW Combo光盘驱动器,
(d) 22" 液晶平板显示器；
(e) 4个USB2.0接口；
(f) 100M以上以太网接口，用于数据传输；
(g) 预装Windows XP正版软件；
( h ) 预装仪器操作软件和数据分析软件（含最新的XPS数据库），附安装软件光盘；

1.世界上独一无二扫描微聚焦X-射线source

2..世界上独一无二扫描微聚焦X-射线产生的2次电子成像SXI像和XPS成像，可以帮助客户找到肉眼看不见的微观缺陷。

3。可以给出10um XPS sensitivity.其他公司不能。20um 的XPS sensitivity是其他公司同类产品的1倍以上。